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表面張力儀用于異丙醇溶液濃度的監測

  • 2019/5/15
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  生産太陽能電池時,晶片要虛線蝕刻幹淨,或者清除掉一個特定的晶圓層。因此,潤濕劑,多數用異丙醇(IPA),會被加到蝕刻劑溶液中以降低表面張力。工藝過程的問題是:蝕刻過程的對流會引起異丙醇的快速蒸發,蝕刻劑的表面張力增加,蝕刻工藝的質量降低。因此,爲了將蝕刻劑中異丙醇的濃度控制在規定範圍內,就必須監測動態表面張力以得知異丙醇的濃度。而靜態表面張力的測量法例如拉環法和吊片法對于這種在生産過程中分析不適用。

  德國SITA公司的創新的氣泡壓力法表面張力儀由于可以精確、快速的測量動態表面張力,而幫助各領域的應用找到最佳的解決方案。在下圖中您可以看到動態表面張力和異丙醇濃度的關系。SITA DynoTester+手持式表面张力仪在線表面張力系統SITA ST对监测蚀刻剂来说是最合适的检测设备。

  SITA Dyno Tester 是灵活、轻便的可以轻松快速的测量蚀刻剂溶液表面张力的设备,无需任何专业操作经验。所得的测量数据可以与所需的值对比,得出异丙醇浓度是否还在规定范围之内。如果超出范围,可以通过快速的额外增加剂量增加浓度解决问题。

动态表面张力与IPA浓度的关系

  動態表面張力與IPA濃度的關系

  设备的USB端口可以将数据传输到电脑上,电脑也可以作为一个外接电源。SITA 动态表面张力仪对清洗池槽液中表面活性剂浓度的进行测量的最佳儀器。

手持式表面张力仪

SITA DynoTester+手持式表面张力仪

  在一些领域的应用中,我们需要对槽液表面活性剂浓度进行连续在线监测,是影响蚀刻质量的重要因素。SITA公司提供在线表面张力检测系统SITA ST作为解决方案,它可以自动定时的测量清洗液的表面张力,自动将测得的表面张力数据与限定值作对比。因此我们可在异丙醇浓度超出限定值后,在短时间内采取相关处理措施。而且,可节省监测异丙醇浓度方面的人力资源。

  德國SITA公司的表面張力儀可以可靠地監測異丙醇濃度,達到高質量的蝕刻工藝和避免異丙醇過量。